一、转印技术概述
1.发展背景
柔性和可拉伸无机电子产品的发展,消除了平面、刚性、脆性设计约束,从而诞生了诸多新应用,如图1
(a)为将SI-CMOS电路转移到PDMS基板上;(b)为基于可压缩硅光电的半球形电子眼摄像机、(C)多功能生物相容界面的球塞导管,用于心心电生理检测和;(d)超薄保形生物集成神经电极阵列转印在可溶解的丝绸基材上;(e)多功能表皮电子系统、(f)GaInP/GaAs 异质双极阵列晶体管转印到可生物降解的纤维纳米基质上,并包裹在3mm树枝上(g)可弯曲的光伏模块,用于太阳能电池制备(h)μLED转印到PDMS衬底上,并在铅笔尖头上紧密拉伸、(i)转印到薄板上的蓝色LED
图1 通过转印实现的柔性和可拉伸无机电子设备
2. 转移技术的基本原理——粘合调制
转印一般会使用到柔软的弹性印章,可调节供体基板之间的微型设备(通常称为墨水)以及第二个接收器基板,如图2所示
图2 转印操作过程和原理
a 1)在供体上准备墨水基板以可释放的方式。(2)回收过程:使用弹性体印章来回收墨水。(3)印刷工艺:印刷油墨到接收器基板上。
b 印模/油墨/基材结构中的两个界面。 c 粘附强度受外部刺激调节,显示高(ON)和低(OFF)粘附状态,
转印过程属于断裂力学范畴,其中涉及具有两个界面(印章/油墨和油墨/底物界面)的三层系统(印章/油墨/基材),转印的产量关键取决于转换能力,即强状态和弱状态之间的粘附以进行拾取和印刷。转印取决于印章/墨水/之间的竞争性断裂,而墨水与基材界面关系决定了是拾取还是打印。拾取过程中,图章/墨水界面应比墨水/基材界面强,以便图章可以吸附墨水。打印过程中,印章/墨水界面应弱于墨水/基材界面,以便可以从印章上释放墨水。
通常,墨水与基材的粘附性被视为常数,因而转印的关键取决于墨水与印章的粘附能力。
图2 C 反映了转印的基本原理:油墨/基材界面的粘合强度保持恒定(红色线),通过改变印章与油墨的粘合强度实现转印——粘合强度强,则为拾取,粘合强度弱则为印刷。
而印章与油墨的粘合强度可通过外部调制,如剥离速度、横向运动等。
粘附转换性(adhesion switchability),即最大粘合强度到最小粘合强度范围值,可用于评估粘合力调制性能。
3.不同种类的转印技术其基本概念和基本原理
根据上节2所述原理,转印技术可分为表面化学和胶粘合转印(surface chemistry and glue assisted transfer printing )、动力学控制转印( kinetically controlled transfer printing)激光驱动非接触转印(laser-driven non-contact transfer printing)仿壁虎表面辅助特定转印( geckoinspired transfer printing)仿蚜虫转印技术( aphidinspired transfer printing)。
(1)表面化学和胶粘合转印
1) 为增强转印的可靠性,一般通过表面化学处理或使用胶水改变界面粘合强度。
图3 典型的表面化学和胶水转印工艺
a(1)利用轻微氧化的PDMS表面之间的Si–O–Si化学键拾取印章,并在GaAs导线阵列上涂覆新鲜的SiO 2膜。(2)从PDMS转移GaAs线阵列,压印到涂有PU薄层的PET板上。经ref许可转载。
b(1)转印印刷方法的插图(2)溶剂可剥离胶带和在180 o剥离下引入丙酮之前和之后3M 3850胶带的测量粘合强度图
测试。
c 通过表面化学和胶粘辅助转移印刷实现的设备和结构技术。(1)一种高性能薄膜晶体管,其构建在光敏环氧涂层的PET基板上。(2)在聚酰胺酸涂覆的PI基板上的3D硅n沟道金属氧化物半导体反相器阵列。(3)一个EMG传感器安装在前臂皮肤上,用于通过可剥离溶剂的胶带进行测量。
(2)动力学控制转印
图4 动力学控制转印
(3)激光驱动非接触转印
(4)仿壁虎表面辅助特定转印
(5)仿蚜虫转印技术
未来的挑战、发展和应用