把不同的版图放在同一张掩模版上，这样一个曝光区域中就可以由不同的器件设计(又称为’die’) 网格(grid)，按照曝光区域把晶圆表面分成若干大小相同的矩形的网格 每一个网格内的区域被称为一个单元(cell) 每个cell里有一个曝光区域，曝光区域的面积比cell略小一些。每一次曝光又称为一个’shot’。 来源：CSDN作者：丿孙小飞链接：https://blog.csdn.net/qq_43670393/article/details/103964875
