微机电系统

MEMS全称Micro Electromechanical System，微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器（执 行器）和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学、 电子工程 、化学、材料工程、机械工程、医学、 信息工程 及 生物工程 等多种学科和工程技术，为智能系统、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的 合成生物学 与 微流控技术 等领域开拓了广阔的用途。常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器等以及它们的集成产品。 MEMS是一个独立的智能系统，可大批量生产，其系统尺寸在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。例如， 常见的MEMS产品尺寸一般都在3mm×3mm×1.5mm，甚至更小 微机电系统的优点是：体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等。 传感MEMS技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、 谐振 、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。 来源： https://www.cnblogs.com/zhiqiang_zhang/p/12563969.html