CyberOptics将在韩国SEMICON展会上推出WaferSense® Auto Resistance Sensor
明尼阿波利斯--(美国商业资讯)--高精度3D传感技术解决方案的全球领先开发商和制造商 CyberOptics® Corporation (NASDAQ: CYBE)将参加2020年2月5日至7日在首尔COEX(韩国国际会展中心)举行的韩国半导体工业技术展览会(SEMICON Korea),展位号为C236。展会期间,该公司将发布和展示其新的WaferSense® Auto Resistance Sensor™ (ARS)和用于半导体工具设置与诊断的CyberSpectrum™软件。 该公司的300mm自动电阻传感器(ARS)和CyberSpectrum软件可在半导体电化学沉积(ECD)应用中实时测量镀层cell触点的电阻。ARS使用开尔文传感(4线电阻)方法快速识别并监视周围50个独立焊盘的电阻测量值,以检测影响电镀引脚的残留物。 它让半导体晶圆厂的工艺和设备工程师可以通过对一段时期内测得的平均电阻进行定量分析来预测工具何时需要维护,缩短设备维护周期,并利用类似晶片的4线电阻传感器和CyberSpectrum软件的客观和可重复数据来改善cell之间的一致性。 CyberOptics总裁兼首席执行官Subodh Kulkarni博士表示:“我们扩展了我们专有的WaferSense设备产品线,这些设备现已被全球半导体晶圆厂和设备OEM所使用,以显著提高产量和延长工具正常运行时间